活性炭吸附法的廢氣處理裝置采用微孔活性炭內部，廢氣中的一個或多個成分濃度在固體表面上，并與其他組分分開。對于揮發性有機化合物的處理，活性炭吸附是一種經濟有效的過程，它具有吸附效率高、適應范圍***的作用。廢氣處理，但活性炭再生過程更為復雜，投資更高。

　　廢氣處理設備，以消除有害氣體，蒸汽或煙霧的燃燒方法，使其變成無害物質，被稱為燃燒凈化，化學凈化燃燒發生的高，如果燃燒氧化和高溫熱分解。燃燒和氧化的有機氣態污染物的結果由二氧化碳和水生成，燃燒和凈化方法分為直接燃燒和熱燃燒。

　　廢氣處理設備的催化燃燒是典型的氣固催化反應，這是活性氧的本質。在催化燃燒過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時，催化劑表面具有吸附功能，使反應物在表面富集，提高了反應速率，加快了反應速度。借助于催化劑，在低的點火溫度條件下，有機廢氣可以被燃燒，氧化分解為二氧化碳和水，同時***量的熱能。該工藝具有處理效率高，無二次污染。